战国时期，属赵国九原郡之西部地。
秦朝时期，仍隶九原郡。
西汉时期，属朔方郡，隶朔方刺使统领。
东汉末年，郡县并废，为南匈奴盘踞。
三国至晋朝初期，仍为南匈奴牧地。
永嘉以后，迭次为前赵、后赵、前秦、后秦、赫连勃勃夏属地。
南北朝时期，地属北魏沃野镇。
隋朝初期，属丰州。
隋大业三年（607年），改州设郡，属五原郡，隶大同城护守。
唐朝初期，地属丰州，隶内道。
贞观中，改州设郡，隶九原郡。
唐景龙二年（708年），地属西受降城，隶天德军节度使，并先后为燕然都护府和安北都护府统领。
宋、辽、金、夏朝时期，皆为西夏属地。
元朝时期，灭夏，旋以地属云内州（下州），隶大同路。
明朝初期，地属宁夏卫，隶陕西。
明朝末年，即入蒙古部属。
清朝初期，为伊克昭盟鄂尔多斯左翼后旗（达拉特旗）和右翼后旗（杭锦旗）的一部分。
清乾隆以后，置道设厅，隶归绥道萨拉齐厅遥领。
清光绪二十七年（1901年），隶五原厅。
民国初期，改厅为县，仍属五原县。
民国十四年（1925年），五原县丰济渠西侧划界，以西设临河，置临河设治局。
民国十八年（1929年），设立临河县。
民国三十一年（1942年），将临河北部和西部地划出，分别置狼山县、米仓县和陕坝市政筹备处（县级）。
1950年，属陕坝专区。
1954年，隶属河套行政区。
1958年7月，隶巴彦淖尔盟。
同年，撤销狼山县，分别并入临河县和杭锦后旗。
1984年，撤销临河县，设立县级临河市。
2004年8月26日，撤销巴彦淖尔盟、县级临河市，设立巴彦淖尔市、临河区。